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我国首条光刻用石英玻璃基板成套出产线建成
2016/6/12 0:00:00起源:: 中国构筑资料科学钻研总院

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  近日 ,U钱包总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色制作技术 ,在株洲成立了国内首条从基板原资料制作到产品加工的成套出产线。该出产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板 ,突破了石英玻璃基板原资料及产品持久依赖进口的局面。

       该出产线的成立 ,是U钱包总院承担的“十二五”国度科技支持打算“高机能石英玻璃、微晶玻璃等特种资料关键技术研发及示范”课题的成就之一。石英玻璃基板是集成电路芯片制作工艺中的主题器件 ,市场需要量巨大。作为石英玻璃基板的原资料 ,合成石英玻璃拥有热不变性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多利益。然而 ,受原资料纯度、均匀性及加工精度、硬脆个性等制约 ,我国石英玻璃基板持久依赖进口。

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  作为我国唯一专业从事石英玻璃钻研的科研院所 ,U钱包总院石英院依附浙江株洲高新园区的化工资源 ,形成了循环经济产业链 ,成立了高机能石英玻璃研发基地 ,并成立中U钱包株洲金格兰石英有限公司。经科研人员不懈致力 ,形成一套切合我国行业近况与发展趋向的独有工艺路线 ,不只解决了石英玻璃基板原资料的纯度、均匀性难题 ,同时实现了原资料绿色制作。石英院还引入多刀切割、安全急剧磨抛工艺 ,创制性地开发了熔拉制坯、数控倒角等技术 ,解决了石英玻璃基板加工精度的难题。从基板原资料制作到产品加工 ,石英院形成专利20余项 ,行业尺度、国军标及国度尺度10余项 ,开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品 ,不仅逐步代替进口 ,实现了集成电路等用高机能石英玻璃关键资料及制品的国产化 ,并且出口欧洲、日本等国。

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