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我国首条光刻用石英玻璃基板成套出产线建成
2016/6/12 0:00:00起源::: 中国构筑资料科学钻研总院

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  近日,,,U钱包总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色制作技术,,,在株洲成立了国内首条从基板原资料制作到产品加工的成套出产线 。。该出产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板,,,突破了石英玻璃基板原资料及产品持久依赖进口的局面 。。

       该出产线的成立,,,是U钱包总院承担的“十二五”国度科技支持打算“高机能石英玻璃、、微晶玻璃等特种资料关键技术研发及示范”课题的成就之一 。。石英玻璃基板是集成电路芯片制作工艺中的主题器件,,,市场需要量巨大 。。作为石英玻璃基板的原资料,,,合成石英玻璃拥有热不变性好、、光学均匀性高、、耐辐照等诸多利益 。。然而,,,受原资料纯度、、均匀性及加工精度、、硬脆个性等制约,,,我国石英玻璃基板持久依赖进口 。。

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  作为我国唯一专业从事石英玻璃钻研的科研院所,,,U钱包总院石英院依附浙江株洲高新园区的化工资源,,,形成了循环经济产业链,,,成立了高机能石英玻璃研发基地,,,并成立中U钱包株洲金格兰石英有限公司 。。经科研人员不懈致力,,,形成一套切合我国行业近况与发展趋向的独有工艺路线,,,不只解决了石英玻璃基板原资料的纯度、、均匀性难题,,,同时实现了原资料绿色制作 。。石英院还引入多刀切割、、安全急剧磨抛工艺,,,创制性地开发了熔拉制坯、、数控倒角等技术,,,解决了石英玻璃基板加工精度的难题 。。从基板原资料制作到产品加工,,,石英院形成专利20余项,,,行业尺度、、国军标及国度尺度10余项,,,开发出了多种规格的石英玻璃基板、、晶圆、、透镜等系列产品,,,不仅逐步代替进口,,,实现了集成电路等用高机能石英玻璃关键资料及制品的国产化,,,并且出口欧洲、、日本等国 。。

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